关于MEMS相关的软件选择，需根据具体应用领域和需求进行区分。以下是综合多个权威来源的推荐及分析：

一、设计开发类软件

TannerPro（L-edit）

- 由TannerResearch开发，集成电路设计全流程工具，支持S-Edit、SPICE、L-Edit等模块，尤其以L-Edit版图编辑器闻名，国内应用广泛。

HFSS（High Frequency Structure Simulator）

- 用于高频电磁场仿真，适用于MEMS天线、射频开关等高频器件的设计。

CoventorWare

- 提供CAD工具包和有限元分析功能，支持MEMS结构设计和热分析。

ANSYS

- 通用工程仿真平台，涵盖结构、流体、热分析等，适用于复杂MEMS系统的综合仿真。

二、生产管理类软件

智能MEMS（Android版）

专注电子制造管理，支持订单管理、生产调度和质量监控，适合电子厂协同创新平台。

三、物联网与嵌入式开发

STM32Cube

- STMicroelectronics提供的开发工具套件，支持C语言开发，适用于基于STM32的MEMS物联网设备。

LabVIEW

- 国产图形化编程环境，适合数据采集、控制系统开发，常用于工业级MEMS应用。

Arduino & Raspberry Pi

- 开源平台，Arduino适合初学者，Raspberry Pi支持Python等语言，适用于低成本、低功耗的MEMS传感器节点开发。

四、其他工具

MATLAB：

科学计算与工程仿真工具，提供工具箱支持MEMS设计。

ANSYS：除仿真外，还支持多物理场分析，适用于复杂系统设计。

选择建议

设计阶段优先考虑TannerPro、HFSS或CoventorWare；

生产管理推荐智能MEMS（Android版）；

物联网开发结合STM32Cube或Arduino；

仿真需求可选TannerPro、HFSS或ANSYS。

建议根据具体项目需求（如设计、仿真、生产或物联网）选择对应软件，并结合团队技术栈和预算进行综合评估。